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摘要：隨著微電子工藝的發(fā)展，濕法清洗越來越局限，而干法清洗能夠避免濕法清洗帶來的環(huán)境污染，同時生產(chǎn)率也大大提高。等離子體清洗在干法清洗中優(yōu)勢明顯，本文主要介紹了等離子體清洗的機理、類型、工藝特點以及在微電子封裝工藝中的應(yīng)用。 關(guān)鍵詞：等離子體清洗；干法清洗；微電子封裝 中圖分類號：tn305.94 文獻(xiàn)標(biāo)識碼：a 文章編號：1003-353x(2002)12-0030-05 plasma cleaning and its application in microelectronics packaging nie lei, cai jian, jia song-liang, wang shui-di (institute of microelectronics of tsinghua university, beijing 100084, china ) abstract: wet cleaning process is getting more and more limitated in the development of the microelectronic industry. d
公司的華夫結(jié)構(gòu)、松下公司的不等寬結(jié)構(gòu)、富士通日立公司的del ta結(jié)構(gòu)），以及障壁印刷法、噴砂法、填充法、感光性漿料法的制作工藝過程及新技術(shù)的發(fā)展。 關(guān)鍵詞 ｐｄｐ（等離子體顯示器） 障壁 單元結(jié)構(gòu) 制作工藝 技術(shù)發(fā)展 the developments of cell structure and fabrication process of pdp barrier rid mu xinqiang, pan jianhua ( shanghai matsushita plasma display panel co. ltd.) abstract: the latest developments of cell structure in recent years were reviewed. the topic was focused on the effects of the new cell structures (conventional strips, waffle, delta, asymmetric cell). meanwhile, the vario
冰升溫至0℃會變成水，如果繼續(xù)使溫度上升至100%，那么水就會沸騰成為水蒸氣。我們知道，隨著溫度的上升，物質(zhì)的存在狀態(tài)一般會呈現(xiàn)出固態(tài)→液態(tài)→氣態(tài)三種物態(tài)的轉(zhuǎn)化過程，我們把這三種基本形態(tài)稱為物質(zhì)的三態(tài)。那么對于氣態(tài)物質(zhì)，溫度升至幾千度時，將會有什么新變化呢? 由于物質(zhì)分子熱運動加劇，相互間的碰撞就會使氣體分子產(chǎn)生電離，這樣物質(zhì)就變成由自由運動并相互作用的正離子和電子組成的混合物(蠟燭的火焰就處于這種狀態(tài))。我們把物質(zhì)的這種存在狀態(tài)稱為物質(zhì)的第四態(tài)，即等離子體(plasma)。因為電離過程中正離子和電子總是成對出現(xiàn)，所以等離子體中正離子和電子的總數(shù)大致相等，總體來看為準(zhǔn)電中性。反過來，我們可以把等離子體定義為：正離子和電子的密度大致相等的電離氣體。 從剛才提到的微弱的蠟燭火焰，我們可以看到等離子體的存在，而夜空中的滿天星斗又都是高溫的完全電離等離子體。據(jù)印度天體物理學(xué)家沙哈(m·saha，1893-1956)的計算，宇宙中的99.9%的物質(zhì)處于等離子體狀態(tài)。而我們居住的地球倒是例外的溫度較低的星球。此外，對于自然界中的等離子體，我們還可以列舉太陽、電離層、極光、雷電等。在人工
打個簡單的比方，在宏觀世界里，廣播、電視的信號，都是靠天線收集的，在我們芯片里，一條條長的金屬線或者多晶硅(polysilicon)等導(dǎo)體，就象是一根根天線，當(dāng)有游離的電荷時，這些“天線”便會將它們收集起來，天線越長，收集的電荷也就越多，當(dāng)電荷足夠多時，就會放電。那么，哪里來的這么多的游離電荷呢？ic現(xiàn)代制程中經(jīng)常使用的一種方法是離子刻蝕（plasma etching），這種方法就是將物質(zhì)高度電離并保持一定的能量，然后將這種物質(zhì)刻蝕在wafer上，從而形成某一層。理論上，打入wafer的離子總的對外電性應(yīng)該是呈現(xiàn)中性的，也就是說正離子和負(fù)離子是成對出現(xiàn)，但在實際中，打入wafer的離子并不成對，這樣，就產(chǎn)生了游離電荷。另外，離子注入（ion implanting）也可能導(dǎo)致電荷的聚集?？梢姡@種由工藝帶來的影響我們是無法徹底消除的，但是，這種影響卻是可以盡量減小的。這些電要放到哪里去呢？我們知道，在cmos工藝中，p型襯底是要接地的，如果這些收集了電荷的導(dǎo)體和襯底間有電氣通路的話，那么這些電荷就會跑到襯底上去，將不會造成什么影響；如果這條通路不存在，這些電荷還是要放掉的，那么，
摘要：詳細(xì)介紹了等離子顯示器的工作原理、特點與發(fā)展，對我國發(fā)展等離子顯示器作出了比較明確的說明與分析。 關(guān)鍵詞：等離子 顯示器 pdp 等離子顯示器（plasma display panel，簡寫pdp）是采用了近幾年來高速發(fā)展的等離子平面屏幕技術(shù)新一代顯示設(shè)備。等離子彩電是用等離子顯示技術(shù)制造的高科技彩電，這種彩電的主要特點是圖像真正清晰逼真，在室外及普通居室光線下均可視，可提供在任何環(huán)境下的大屏視角；并且屏幕非常輕薄，厚度僅有厘米，便于安裝，是彩色電真正的高端產(chǎn)品。 隨著多媒體及高清晰度電視（hdtv）的出現(xiàn)，顯示技術(shù)得到了空前的發(fā)展。在眾多的顯示方法中，等離子體顯示器pdp以其卓越的性能受到了廣泛的關(guān)注。pdp具有視角寬、壽命長、刷新速度快、光效及亮度高、易制作大屏幕、工作溫度范圍寬等很多優(yōu)良特性。彩色pdp采用的數(shù)字灰度技術(shù)可使圖像灰度超過256級，能滿足顯示16位或24位真彩色的要求。 1 等離子顯示器的工作原理 等離子顯示器是一種利用氣體放電的顯示裝置，這種屏幕采用了等離子管作為發(fā)光元件。大量的等離子管排列在一起構(gòu)成屏幕。每個等離子對應(yīng)的每個小室內(nèi)部充有氖氙氣體。在
孔數(shù)。對最終確定參數(shù)的孔電鍍后作5次若沖擊試驗，確定其可靠性。2.3.2 孔化-電鍍由于ptfe材料極性小，不易和別的材料結(jié)合，因此沉銅困難，需要想辦法沉上銅；同時，由于鉆孔時肯定會留下未切斷的纖維和樹脂以及樹脂粘在孔壁上的纖維等鉆污，所以需要去鉆污。針對ptfe材料和fr-4的區(qū)別我們主要集中在去鉆污(去除孔壁鉆污和其粘連的纖維等雜物)和確保沉銅的可靠性。由于ptfe材料沉銅較為困難，目前采用三次沉銅三次電鍍方式進(jìn)行沉銅電鍍。需要對沉銅次數(shù)進(jìn)行評估，確定滿足可靠性要求的最少沉銅次數(shù)。多層板需要plasma作去鉆污和活化處理，以保證pth的可靠性。由于ptfe材料較軟，電鍍時，在電鍍槽中的擺動易使板折壞或使板的可靠性下降。采用薄板夾具裝夾電鍍。2.3.3 阻焊－整平（化金）ptfe材料本身和油墨結(jié)合力很小，由于ptfe材料芯板壓合時，在表面涂覆了一層活化層以保證和銅箔的結(jié)合力。蝕刻后，該活化層可保證ptfe和油墨的結(jié)合力，但該活化層曝露在空氣中，很快因氧化而失效。因此蝕刻完成后，應(yīng)立即完成阻焊印制，以免表面活化層失效，而導(dǎo)致油墨和板面結(jié)合力不好。需要對蝕刻后，到油墨印制完成的時間長短進(jìn)行評估。另外
美國加州康科德-- march plasma systems 今天宣布推出了改良型印刷電路板 (pcb) 蝕刻前調(diào)節(jié)技術(shù)。憑借這種新技術(shù)，該公司業(yè)界公認(rèn)的印刷電路板系列產(chǎn)品能夠顯著提高除膠渣 (desmear) 和凹蝕 (etchback) 等應(yīng)用的生產(chǎn)力。這項新的系統(tǒng)改進(jìn)技術(shù)可使生產(chǎn)力提高30%以上。新的產(chǎn)品功能將在所有新交付的印刷電路板系列中得到體現(xiàn)，同時也可用于現(xiàn)有系統(tǒng)的翻新。 除膠渣和凹蝕應(yīng)用中極為均勻的處理通常所需的三道等離子工序包括蝕刻前環(huán)節(jié)、除膠渣或凹蝕環(huán)節(jié)以及剩余反應(yīng)物清除環(huán)節(jié)。印刷電路板蝕刻前環(huán)節(jié)必須確保每個面板的受控蝕刻處于單個加工單元 (processing cell) 內(nèi)，且按加工單元逐個進(jìn)行。這種印刷電路板調(diào)節(jié)技術(shù)直接導(dǎo)致等離子處理更為均勻。最大程度地縮短每個環(huán)節(jié)所需時間使得印刷電路板系統(tǒng)的生產(chǎn)力有所提高。新的蝕刻前調(diào)節(jié)技術(shù)使該環(huán)節(jié)所需時間減少了65%以上，從而直接提高了印刷電路板系統(tǒng)的生產(chǎn)力。 march plasma systems 應(yīng)用工程部門 (applications engineering) 主管 james getty 表示：“march 一直是一家
美國加州康科德-- march plasma systems 今天宣布推出了改良型印刷電路板 (pcb) 蝕刻前調(diào)節(jié)技術(shù)。憑借這種新技術(shù)，該公司業(yè)界公認(rèn)的印刷電路板系列產(chǎn)品能夠顯著提高除膠渣 (desmear) 和凹蝕 (etchback) 等應(yīng)用的生產(chǎn)力。這項新的系統(tǒng)改進(jìn)技術(shù)可使生產(chǎn)力提高30%以上。新的產(chǎn)品功能將在所有新交付的印刷電路板系列中得到體現(xiàn)，同時也可用于現(xiàn)有系統(tǒng)的翻新。 除膠渣和凹蝕應(yīng)用中極為均勻的處理通常所需的三道等離子工序包括蝕刻前環(huán)節(jié)、除膠渣或凹蝕環(huán)節(jié)以及剩余反應(yīng)物清除環(huán)節(jié)。印刷電路板蝕刻前環(huán)節(jié)必須確保每個面板的受控蝕刻處于單個加工單元 (processing cell) 內(nèi)，且按加工單元逐個進(jìn)行。這種印刷電路板調(diào)節(jié)技術(shù)直接導(dǎo)致等離子處理更為均勻。最大程度地縮短每個環(huán)節(jié)所需時間使得印刷電路板系統(tǒng)的生產(chǎn)力有所提高。新的蝕刻前調(diào)節(jié)技術(shù)使該環(huán)節(jié)所需時間減少了65%以上，從而直接提高了印刷電路板系統(tǒng)的生產(chǎn)力。 march plasma systems 應(yīng)用工程部門 (applications engineering) 主管 james getty 表示：“march 一直是一家
清洗設(shè)備。 韶陽科技在cell段的主力設(shè)備為液晶玻璃影像對位印刷機，該機為lcd液晶玻璃用自動網(wǎng)印機，利用ccd影像高精度自動對位印刷，可分為接觸式及非接觸式印刷；搭載精密影像對位，廣泛應(yīng)用于太陽能銀膠網(wǎng)印、pcb及半導(dǎo)體制程。 lcm設(shè)備方面，ed自動點膠機用于cog/fog完成后，在panel上以空壓式dispensing head進(jìn)行dispensing；可搭配ld／uld做全線in line設(shè)備、全自動視覺對位、及全pc-based架構(gòu)，適用各種涂膠部品。 plasma液晶端子清洗機是利用工程的洗凈方法，達(dá)到cog前端子清潔，搭載丙酮或酒精擦拭細(xì)粉及鍍膜層，再以大氣壓plasma清除有機物。該機配備全視覺ccd，可對應(yīng)各種尺寸，并可搭載ld、ud做自動聯(lián)機。 至于plasma大氣等離子源，用以清潔玻璃表面有機化合物，增加端子或acf的附著力；具有專利電極設(shè)計，表面清潔效果優(yōu)異，等離子制程溫度低，且不傷基板。 清洗設(shè)備方面，spin式mask清洗機使用旋轉(zhuǎn)方式清洗，除去及洗凈mask玻璃的附著污物，集毛刷清洗、超音波洗凈、cda吹干，多功能、
志圣工業(yè)(2467)表示，針對pcb產(chǎn)業(yè)開發(fā)的設(shè)備機種，將於10月3日至5日pcb業(yè)界年度大展中展出，以黃光室乾製程total solution設(shè)備為主軸，強調(diào)影像轉(zhuǎn)移/壓膜涂佈/光與熱等概念，展場也將展示plasma、stepper等設(shè)備。 目前志圣在海內(nèi)外擁有 4個生產(chǎn)基地，臺北總公司主要生產(chǎn)曝光機、無塵烤箱、老化試驗設(shè)備；臺中廠成立於1981年，以自動壓膜機、無氧化烤箱、 tft-lcd製程設(shè)備為主要生產(chǎn)項目。 志圣廣州廠1997年建廠，今年適逢10週年，員工人數(shù)至今已有 500人，是uv乾燥設(shè)備、連續(xù)輸送式烤箱、手動曝光機的生產(chǎn)基地；2005年與2007年依序合併晶研科技與鐠德科技而成立竹科分公司，以生產(chǎn)plasma設(shè)備、tft自動化傳輸設(shè)備amhs與廠務(wù)整合系統(tǒng)cim為主，以因應(yīng)各種製程需求。 自動壓膜機設(shè)備量產(chǎn)至今，已銷售超過1000臺以上，近兩年市場銷售佔有率高達(dá) 80%以上，此機的薄板能力可達(dá)0.05mm(不含銅)、出板溫度監(jiān)控的設(shè)計，可確保壓膜品質(zhì)。 志圣壓膜機系列之另一項主力產(chǎn)品－真空壓膜機，可因應(yīng)選擇性鍍金/fpc/abf等壓膜製程，由於其製程板
1% 2006 world dram share top5 company (from isuppli)http://www.thinkit.co.jp/free/news/reuters/0702/02/14.html1．samsung 28% （korea） 2．hynix 13.6% （korea） 3．qimonda 9.5% （germany） 4．micron 9.2% （united states） 4．elpida 8.3%（japan）2006 q3 world plasma tv share top5 company (from displaysearch)http://www.displaysearch-japan.com/release/2007/01/r31.html1．lg electronics 32.5% （korea） 2．panasonic 30.4% （japan）3．samsung sdi 23.2% （korea） 4．fujitsu-hitachi 8.9% （japan） 5．pioneer 4.8% （japan）sharp
精密熱風(fēng)烤箱/ｕｖ設(shè)備供應(yīng)志圣csun品牌產(chǎn)品: 精密熱風(fēng)烤箱 無塵/無氧化烤箱 uv紫外線干燥設(shè)備 plasma電漿設(shè)備 連續(xù)式干燥設(shè)備 老化試驗設(shè)備聯(lián)系方式:郵件,來電13500098635
等離子清洗哥們用過等離子（plasma）清洗嗎？如果感興趣請和我聯(lián)系chendashan@pvatepla.com.cn
 整體系統(tǒng)性能的不斷提高； 運用靈活的商業(yè)模式，提供專為客戶特殊定制服務(wù)。p901 是一個性價比很高的單端口的hdmi 接收單芯片，與硅化圖像silicon image 的sii 9021相似，它集成了hdmi 技術(shù)核心、hdcp rev 1.1 引擎、音頻解碼器和dac 功能于一身，支持i2s 和spdif 方式輸出的2 通道pcm 音頻解碼，非常適合應(yīng)用于各種480i/576i/480p/576p/720p/1080i 分辨率的數(shù)字電視機，例如plasma 等離子、液晶lcd tv 和投影機，以及各種多媒體電腦周邊設(shè)備，例如顯示器終端中。采用100-pin 的tqfp 封裝形式。而ep903與硅化圖像silicon image的sii 9031相似，容納八聲道音頻信號，也具備雙重hdmi輸入并支持寬帶數(shù)字內(nèi)容保護(hù)hdcp復(fù)送 (repeater) 功能，符合hdcp多層傳遞加密之影音內(nèi)容的規(guī)格需求。它是一個的雙通道口dual channel的hdmi接收單芯片。ep902 是一個單端口的hdmi 發(fā)射單芯片，與硅化圖像silicon image
xide thickness was of the order of 100 nm to prevent weak spot or shorting path between the floating gate and the substrate. charging of the eprom was achieved by biasing the drain junction to avalanche breakdown where the electrons in the avalanche plasma were injected from the drain region into the floating gate. the famos could only be erased by ultraviolet (uv) or x-ray. the eprom was perceived as a tool for system prototyping before a design was committed to read only memory (rom). today, one can
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