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處理系統(tǒng)等產(chǎn)品已經(jīng)比較成熟;后工序設(shè)備中除全自動(dòng)金絲球焊機(jī)、粘片機(jī)外,塑封機(jī)、打標(biāo)機(jī)、劃片機(jī)、ic編帶機(jī)、電鍍線設(shè)備等國(guó)內(nèi)均有產(chǎn)品;材料制備設(shè)備中6英寸以下單晶爐、切、磨、拋等設(shè)備可配套提供,8英寸設(shè)備正在開發(fā)。除集成電路外,已為二、三極管、led、lcd、vfd、電力電子、太陽(yáng)能電池、saw等領(lǐng)域提供了大量的半導(dǎo)體設(shè)備。 信息產(chǎn)業(yè)部電子45所0.5μm、6英寸水平的光刻機(jī)已經(jīng)研制完成,0.25μm水平分步重復(fù)光刻機(jī)的單元技術(shù)方面有了長(zhǎng)足進(jìn)步,該所2000年共銷售各種半導(dǎo)體設(shè)備80多臺(tái),sb—401a新型雙面光刻機(jī)(曝光面積φ110m m,分辨率0.0035m m)、探針中測(cè)臺(tái)、刻槽劃片機(jī)等都已投放市場(chǎng); qd—1001型集成電路切筋打彎?rùn)C(jī)(每工位載荷數(shù)10只,工作頻率30次/分),集成電路編帶機(jī)(60個(gè)/分,適用vsop、plcc、sop、soj、sol等)和sw—36工位環(huán)形垂吊式電鍍生產(chǎn)線,經(jīng)南通富士通公司近兩年使用,反應(yīng)良好,jy—200型集成電路標(biāo)志打印機(jī)集上料、清洗、燒氫、打印、烘干于一體,提高了印字精度和速度(50—60次/分,精度≤0.10m m)。 信息產(chǎn)業(yè)部電子48所承