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當(dāng)前位置:維庫電子市場網(wǎng)>IC>102s 更新時間:2026-04-14 19:32:00

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  • 離子注入高分子材料的研究動態(tài)及應(yīng)用

    的變化[11]。davenas 對離子注入聚乙炔膜的穩(wěn)定性作了研究。用碘離子注入聚乙炔后,聚乙炔樣品對氧的敏感性降低[2,5]。100℃時離子注入聚乙炔在10小時內(nèi)穩(wěn)定性顯著地保持,而用碘化學(xué)摻雜的聚乙炔樣品在同樣時間內(nèi)摻雜濃度減小了一半[5] 。 用化學(xué)摻雜不能使其電導(dǎo)率增加的聚合物(例聚乙烯咔唑(pvk))用離子注入可增加其電導(dǎo)率[6]。用高能離子輻照聚合物膜,使其電阻率降低十幾個數(shù)量級,最終變得導(dǎo)電。e≥300kev時,聚甲基丙烯酸甲脂,聚乙烯,聚苯乙稀,聚酰亞胺經(jīng)離子輻射后變成導(dǎo)體(σ≈102s·cm-1)[11],200kev br+注入絕緣物質(zhì)pan(聚丙烯晴)、ppo、pps(聚苯硫醚),電導(dǎo)率增加14個數(shù)量級[6]。用2mevar+輻射hpr-204膜到劑量1017ion/cm2,ρ≈10-3ω·cm,已導(dǎo)電)[7,9]。利用這個性質(zhì),可用離子束在絕緣聚合物上制作高電導(dǎo)率的圖樣,制作導(dǎo)電通路。特別在集成電路中用來作第一導(dǎo)電層和第二導(dǎo)電層之間的導(dǎo)電通路。也可用來制作三維集成電路互連接。盡管在劑量大于1016ion/cm2 ar+時,輻照(2mev ar+)的聚合物膜的電阻率低和電

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