工藝化學品
出處：wyheauini 發(fā)布于：2007-04-29 10:16:49
很明顯，需要很多工藝來將原始半導體材料轉變?yōu)橛杏玫钠骷?，大部份的工藝使用化學品。芯片制造首要是一種化學工藝，或者更準確地說是一系列化學工藝，高達20%工藝步驟是清洗和晶圓表面的準備。６
半導體工廠消耗大量的酸，堿，溶劑和水。為達到和潔凈的工藝，部分成本是由于化學品需要非常高的純度和特殊的反應機理。晶圓越大，潔凈度要求越高，相應就需要更多的自動清洗位置，清洗所用化學品的成本也就跟著升高。當把芯片的制造成本加在一起，其中化學品占總制造成本可達40%。
對半導體工藝化學品潔凈度的要求在第四章介紹。在工藝章節(jié)會詳細介紹特定化學品和它們的特性。
分子，化合物和混合物
在2.3.1節(jié)，用玻爾原子模型解釋物質的基本結構。這個模型可解釋組成自然界所有物質的元素之間的結構差異，但是很顯然自然界中超過了103（元素的數(shù)目）種物質。
非元素材料的基本單位是分子。水的基本單位是兩個氫原子和一個氧原子組成的分子。材料的多樣性源自原子之間相互結合形成分子。
每次我們想指定一個分子時就畫一個如圖2.15的圖表是不方便的，更常用的方式是寫出分子式。如水它就是熟悉的H2O。這個分子式確切地告訴我們在材料中的元素和其數(shù)目。化學家用更確切的術語“化合物”來描述由元素的不同組合。這樣H2O（水），NaCl（氯化鈉或鹽），H2O2（過氧化氫）和As2O3（三氧化砷）都是由一個一個分子集合成的不同化合物。
有的元素結合成雙原子分子，雙原子分子是分子中有兩個相同元素的原子。熟悉的氣體如氧氣、氮氣和氫氣在自然狀態(tài)下都是由雙原子分子構成的。這樣它們的公式就是O2，N2和H2。
物質還有其它兩種形式：混合物和溶液。混合物由兩種或更多種物質構成，但每種物質都保留各自的特性。典型的混合物就是鹽和胡椒粉。
溶液是固體溶解于液體中的混合物，在液體中，固體分散分布，呈現(xiàn)出獨特的性能。不過溶液中的物質并沒有形成新的分子。鹽水就是溶液的一個例子，可以把它分解回其初始狀態(tài)：鹽和水。
圖2.15 水分子圖
半導體工廠消耗大量的酸，堿，溶劑和水。為達到和潔凈的工藝，部分成本是由于化學品需要非常高的純度和特殊的反應機理。晶圓越大，潔凈度要求越高，相應就需要更多的自動清洗位置，清洗所用化學品的成本也就跟著升高。當把芯片的制造成本加在一起，其中化學品占總制造成本可達40%。
對半導體工藝化學品潔凈度的要求在第四章介紹。在工藝章節(jié)會詳細介紹特定化學品和它們的特性。
分子，化合物和混合物
在2.3.1節(jié)，用玻爾原子模型解釋物質的基本結構。這個模型可解釋組成自然界所有物質的元素之間的結構差異，但是很顯然自然界中超過了103（元素的數(shù)目）種物質。
非元素材料的基本單位是分子。水的基本單位是兩個氫原子和一個氧原子組成的分子。材料的多樣性源自原子之間相互結合形成分子。
每次我們想指定一個分子時就畫一個如圖2.15的圖表是不方便的，更常用的方式是寫出分子式。如水它就是熟悉的H2O。這個分子式確切地告訴我們在材料中的元素和其數(shù)目。化學家用更確切的術語“化合物”來描述由元素的不同組合。這樣H2O（水），NaCl（氯化鈉或鹽），H2O2（過氧化氫）和As2O3（三氧化砷）都是由一個一個分子集合成的不同化合物。
有的元素結合成雙原子分子，雙原子分子是分子中有兩個相同元素的原子。熟悉的氣體如氧氣、氮氣和氫氣在自然狀態(tài)下都是由雙原子分子構成的。這樣它們的公式就是O2，N2和H2。
物質還有其它兩種形式：混合物和溶液。混合物由兩種或更多種物質構成，但每種物質都保留各自的特性。典型的混合物就是鹽和胡椒粉。
溶液是固體溶解于液體中的混合物，在液體中，固體分散分布，呈現(xiàn)出獨特的性能。不過溶液中的物質并沒有形成新的分子。鹽水就是溶液的一個例子，可以把它分解回其初始狀態(tài)：鹽和水。
圖2.15 水分子圖
關鍵詞：工藝化學品
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