veeco instruments公司宣布,臺灣新竹的禧通科技公司(m-com)訂購了一套tuibodisc e450砷磷mocvd系統(tǒng),用于生產(chǎn)高效率的三五族化合物多結(jié)太陽能電池。 公司總經(jīng)理lih-wen laih表示,禧通科技添購此套e450系統(tǒng),在于其產(chǎn)量高,生產(chǎn)出的超高質(zhì)量薄膜,能轉(zhuǎn)化為更高效的多結(jié)太陽能電池。laih希望新添置的e450設備有助于降低10倍的單芯片成本,這對于獲取光伏電池市場的份額至關重要。 veeco mocvd部門副總san direnzo表示,tuibodisc e450(以及下一代e475)as/p設備針對大批量化合物材料的生產(chǎn)而設計,并具備一定的工藝控制能力與可靠性。它采用了realtemp200技術可直接實現(xiàn)閉環(huán)原位晶片溫度控制,并通過快速的開關氣體實現(xiàn)彎道處的嚴格控制。這兩項技術的處理可帶來優(yōu)質(zhì)的材料以及很高的工藝效率。除了用于三結(jié)太陽能電池外,設備的用途還包括hbt、phemt器件,以及紅、橙和黃光高亮度led、激光二極管等。