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當前位置：維庫電子市場網>IC>dp1610 更新時間:2026-01-20 01:33:40

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電磁激勵微諧振式傳感器的設計與制作
態(tài)分析測試，利用頻率掃描儀構成的開環(huán)掃描系統(tǒng)測試了器件在空氣中的頻率特性曲線如圖5，諧振梁的峰值大約在72.30 khz處，-3 db帶寬約為50 hz。計算得出諧振梁的品質因數(shù)q大于1 200。利用鎖相放大器構成的開環(huán)掃描系統(tǒng)測試了器件在高真空中的頻率特性曲線如圖6，諧振梁的峰值大約在72.395 khz處，-3 db帶寬約為10 hz。計算得出諧振梁的品質因數(shù)q大于7 000。在室溫條件下，對真空封裝的壓力傳感器進行了壓力特性測試，測試采用英國druck公司的dp1610型壓力校驗儀，電路為自制的鎖相環(huán)放大電路。壓力特性曲線測試結果如圖7所示。(激振電壓峰值為50 mv) 圖7中前兩根曲線分別是壓力傳感器的中、下諧振器的壓力輸出曲線?？梢钥闯?，兩者的線性度較差，線性相關系數(shù)r2分別為0.996 6和0.999 6，靈敏度(曲線斜率)分別為144.16、81.612 hz／kpa。最后一根曲線是將上面兩個諧振器的輸出信號作差分得出的輸出曲線，其線性相關系數(shù)r2為0.999 9，線性度明顯好于單個諧振器輸出，靈敏度為225.77 hz／kpa，高于前兩

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