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KLA-TENCOR為28XX寬頻明場(chǎng)檢測(cè)系統(tǒng)發(fā)布XP新升級(jí)包
設(shè)計(jì)信息并根據(jù)特定圖案組設(shè)置高度局部化的缺陷檢測(cè)閾值，對(duì)芯片內(nèi)所有關(guān)鍵區(qū)域的缺陷捕捉進(jìn)行優(yōu)化。 ——通過(guò)密切監(jiān)測(cè)具有最小工藝靈活度的圖案類(lèi)型，實(shí)現(xiàn)對(duì)臨界點(diǎn)光刻狀況的早期偵測(cè)；以及? —— 新工藝層或新裝置的衍生“配方”（對(duì)檢測(cè)具有決定性影響的光學(xué)、機(jī)械和算法參數(shù)設(shè)置）的線下生成。作為若干配方快速化的功能之一，此功能可大幅減少配方設(shè)置所需的時(shí)間和勞力，藉此提高檢測(cè)機(jī)臺(tái)的產(chǎn)能，并讓即使是對(duì)小批量或快速試制的芯片的配方優(yōu)化也切實(shí)可行。 xp 升級(jí)包是針對(duì)已被廣泛采用的 281x 和 282x 明場(chǎng)檢測(cè)系統(tǒng)的一項(xiàng)升級(jí)，已出貨至多家晶片代工廠、內(nèi)存芯片與邏輯芯片生產(chǎn)廠家，且在 20 多篇技術(shù)論文中都有專(zhuān)門(mén)論述。

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