IC--1431型硅壓阻式壓力傳感器及其應(yīng)用電路
出處:wuyiqin 發(fā)布于:2011-08-30 13:34:59 | 6193 次閱讀

IC-1431型硅壓阻式壓力傳感器,可用于表壓力、壓力、真空度和差壓的測量。此外,還可以間接測量飛機(jī)的飛行高度、飛行速度、大型儲液罐的液位、海洋的水深、氣體管道的流量、人體的血壓及呼吸壓等。
硅壓阻式壓力傳感器,是利用腐蝕工藝在單晶硅片上用擴(kuò)散工藝或離子注入工藝制成一定形狀的力敏電橋。當(dāng)硅膜片收到壓力作用時(shí),力敏電橋阻值發(fā)生變化,使電路輸出相應(yīng)的電壓信號Uo,電路如圖所示。
該壓力傳感器的硅膜上,還帶有一只增益電阻,用它的阻值大小來補(bǔ)償電橋的靈敏度的離散性,使傳感器具有互換性。因此這種傳感器只有6腳,如圖左側(cè)部分所示,11、12腳為測試點(diǎn)。
圖右側(cè)部分為帶增益嗲組RZ的經(jīng)典應(yīng)用電路,采用恒流源Io=1.5mA為IC-1431型硅壓阻式傳感器。輸出滿足量程為2V,無需在進(jìn)行調(diào)整。
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