關(guān)于光纖嵌入式微流控芯片的制作過程
出處:電子發(fā)燒友 發(fā)布于:2019-07-02 13:38:19
微流控芯片(Microfluidic Chip)是一種將生物、化學(xué)、醫(yī)學(xué)分析過程的樣品制備、反應(yīng)、分離、檢測(cè)和廢液回收等基本操作單元集成到一塊微米尺度的生化芯片上,從而自動(dòng)完成分析全過程。這種方式可以很好地取代傳統(tǒng)生化實(shí)驗(yàn)室中的一整套流程,提高了效率的同時(shí)避免了人為操作的影響,因此又被稱為片上實(shí)驗(yàn)室(Lab on a Chip)。
在微流控芯片的檢測(cè)過程中,通常會(huì)先將樣品分成一個(gè)個(gè)液滴,如單細(xì)胞分析、數(shù)字聚合酶鏈反應(yīng)(PCR)和酶演化等。熒光檢測(cè)分析是一種檢測(cè)液滴微流體的常用方法,它具有較強(qiáng)的信號(hào)和快速的時(shí)間響應(yīng)。傳統(tǒng)的用于液滴微流體熒光檢測(cè)的方法是基于熒光顯微鏡,但這種方法是基于空間光結(jié)構(gòu)因而結(jié)構(gòu)精細(xì)且需要復(fù)雜的操作。
光纖提供了一種穩(wěn)定而簡(jiǎn)化的檢測(cè)方案,可以自由方便地插入微流體裝置中,且不需要空間光器件來調(diào)節(jié)光路。研究人員將展示制作一種用于熒光檢測(cè)的光纖嵌入式微流控芯片完整的制作流程,配音語速較慢且清晰,可以鍛煉一下英語聽力。
多層微流通道光刻流程如下圖所示:
首先,旋涂80微米高的SU-8膠,使用掩模版Mask1進(jìn)行光刻;再旋涂40微米的SU-8膠,使用掩模版Mask2進(jìn)行光刻;接著旋涂100微米的SU-8膠,使用掩模版Mask3進(jìn)行光刻;經(jīng)過顯影、PDMS成型和等離子粘合到玻璃上后,制成一個(gè)同時(shí)包含微流通道結(jié)構(gòu)和可以從側(cè)面嵌入光纖的通道的微流控芯片。
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