壓力傳感器 是指將壓力轉(zhuǎn)換為電信號(hào)輸出的傳感器。壓力傳感器一般由彈性敏感元件和位移敏感元件（或應(yīng)變計(jì)）組成。彈性敏感元件的作用是使被測(cè)壓力作用于某個(gè)面積上并轉(zhuǎn)換為位移或應(yīng)變，然后由位移敏感元件或應(yīng)變計(jì)轉(zhuǎn)換為與壓力成一定關(guān)系的電信號(hào)。有時(shí)把這兩種元件的功能集于一體。壓力傳感器廣泛應(yīng)用于各種工業(yè)自控環(huán)境，涉及水利水電、鐵路交通、智能建筑、生產(chǎn)自控、航空航天、、石化、油井、電力、船舶、機(jī)床、管道等眾多行業(yè)。

　　力學(xué)傳感器的種類繁多，但常用的壓力傳感器有電阻應(yīng)變片壓力傳感器、半導(dǎo)體應(yīng)變片壓力傳感器、壓阻式壓力傳感器、電感式壓力傳感器、電容式壓力傳感器、諧振式壓力傳感器及電容式加速度傳感器等。應(yīng)用為廣泛的是壓阻式壓力傳感器，它具有極低的價(jià)格和較高的以及較好的線性特性。

　　國內(nèi)從事硅電容壓力傳感器的研究可以說是剛剛起步。盡管國內(nèi)已經(jīng)有單位研制出了硅電容傳感器，它的和靜壓特性已接近富士公司產(chǎn)品的平均水平，但在長(zhǎng)期穩(wěn)定性方面，差距較大。同時(shí)，國內(nèi)的電容傳感器在高差壓和微差壓規(guī)格的開發(fā)上仍有較大差距。國外壓阻式傳感器可以達(dá)到0.075%,而國內(nèi)研制的壓阻式傳感器的只有0.1%.在長(zhǎng)期穩(wěn)定性能上，國產(chǎn)傳感器和進(jìn)口傳感器的差距更為明顯。國產(chǎn)產(chǎn)品長(zhǎng)期穩(wěn)定性的指標(biāo)為0.1%/年，比國外產(chǎn)品至少高2倍。另外，國產(chǎn)產(chǎn)品的溫度特性差。與國外產(chǎn)品相比，溫度漂移比國外產(chǎn)品的典型值大50%~100%.此外，國產(chǎn)產(chǎn)品的規(guī)格品種不夠全，在微差壓和高差壓、高靜壓規(guī)格方面沒有成熟的產(chǎn)品，不能滿足某些工藝的特殊要求。

　　壓力傳感器的國產(chǎn)化問題的關(guān)鍵主要是如何提高傳感器的長(zhǎng)期穩(wěn)定性。傳感器的長(zhǎng)期穩(wěn)定性和傳感器的材料選擇、結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、加工工藝密切相關(guān)。我國在MEMS加工工藝上還處于相對(duì)落后階段，提高工藝水平無疑是提高傳感器性能的長(zhǎng)遠(yuǎn)之計(jì)。

　　目前，國內(nèi)相關(guān)高校和科研院所對(duì)壓阻式和電容式MEMS傳感器進(jìn)行了大量的研究，在理論和工藝水平上都取得了一些成果。就當(dāng)前工藝水平而言，如果能夠?qū)崿F(xiàn)某種形式的補(bǔ)償或者在線的自標(biāo)定方法，則有可能在短期內(nèi)提高傳感器的長(zhǎng)期穩(wěn)定性，使國產(chǎn)傳感器在穩(wěn)定性指標(biāo)上滿足石化行業(yè)需求。

　　近幾年，隨著MEMS壓力傳感器的性能不斷提高，成本和尺寸不斷降低，消費(fèi)電子廠商開始使用壓力傳感器與慣性傳感器和地磁傳感器模組實(shí)現(xiàn)航位推測(cè)和導(dǎo)航功能。

　　隨著MEMS傳感器的設(shè)計(jì)和制造工藝的進(jìn)步，MEMS壓力傳感器被廣泛用于醫(yī)療、汽車和消費(fèi)電子等應(yīng)用領(lǐng)域。例如，壓力傳感器可用于監(jiān)測(cè)血壓，汽車廠商利用氣壓傳感器優(yōu)化發(fā)動(dòng)機(jī)能效，提醒駕駛員輪胎氣壓不足。

　　本文論述如何在個(gè)人導(dǎo)航儀內(nèi)利用MEMS壓力傳感器輔助GPS接收器測(cè)量海拔高度。

　　1.大氣壓與海拔高度的關(guān)系

　　在個(gè)人導(dǎo)航儀中，MEMS壓力傳感器充當(dāng)氣壓計(jì)用于測(cè)量海拔高度變化。因此，我們必須了解不同高度的大氣壓。

　　下面是大氣壓測(cè)量單位：

　　psi – 磅/平方英寸

　　cm/Hg – 水銀柱高（厘米）

　　cm/Hg – 水銀柱高（英寸）

　　Pa – 帕，國際制壓力單位（SI） ,1Pa = 1 N/m2

　　bar – 巴，氣壓?jiǎn)挝唬? bar = 105Pa

　　mbar – 毫巴，1mbar = 10-3 bar

　　我們居住在地球大氣層的底層，大氣壓隨著海拔高度上升而降低。我們將在59 ℉時(shí)的29.92 in/Hg海平面氣壓規(guī)定為標(biāo)準(zhǔn)大氣壓，這個(gè)平均值不受時(shí)間影響，而受到測(cè)量點(diǎn)的地理位置、氣溫和氣流的影響。

　　因此，上述壓力單位之間的換算關(guān)系是：

　　1 個(gè)標(biāo)準(zhǔn)大氣壓= 14.7 psi = 76 cm/Hg = 29.92 in/Hg = 1.01325 bar = 1013.25 mbar

　　可以用下面的表達(dá)式表示大氣壓與海拔高度之間關(guān)系[1]:

　　其中：

　　P0 是標(biāo)準(zhǔn)大氣壓，等于1013.25 mbar;

　　Altitude是以米為單位的海拔高度。

　　P是在某一高度的以mbar為單位的氣壓

　　圖1根據(jù)上面的公式描述了大氣壓變化與海拔高度的關(guān)系。

　　如圖1所示，當(dāng)高度從海平面上升到海拔11,000米高時(shí)，大氣壓從1013.25 mbar降到230 mbar.我們從圖中不難看出，當(dāng)高度低于1,500米時(shí)，大氣壓幾乎呈線性降低，每100米大約降低11.2 mbar,即每10米大約降低1.1 mbar.為了取得更的高度測(cè)量數(shù)據(jù)，可以在目標(biāo)應(yīng)用中構(gòu)建一個(gè)大氣壓高度查詢表，根據(jù)壓力傳感器的測(cè)量結(jié)果，確定對(duì)應(yīng)的海拔高度。

　　如果使用全量程為300 mbar到1100 mbar的MEMS壓力傳感器，測(cè)量高度可達(dá)海拔9,165米到海平面以下698米。

　　                              圖1:       大氣壓與海拔高度的關(guān)系

　　2. 利用MEMS傳感器確定樓層

　　0.1 mbar rms的測(cè)量分辨率使MEMS壓力傳感器能夠發(fā)現(xiàn)在1米以內(nèi)高度變化。因此，在高層建筑內(nèi)，可以使用壓力傳感器發(fā)現(xiàn)樓層變化。

　　圖2所示是在意法半導(dǎo)體的意大利Castelletto寫字樓內(nèi)采集到的壓力傳感器數(shù)據(jù)。采樣速率是7Hz,數(shù)據(jù)采集時(shí)間總計(jì)大約23分鐘。從圖中我們可以清晰地看到大氣壓在不同樓層的變化。大氣壓在地下室。隨著樓層升高，大氣壓逐漸降低。

　　圖3所示是意法半導(dǎo)體的一個(gè)MEMS壓力傳感器，這是一個(gè)采用3 x 5 x 1mm LGA-8封裝的數(shù)字輸出壓力傳感器，內(nèi)置I2C/SPI接口和16位數(shù)據(jù)輸出。量程是300 mbar到1100 mbar,分辨率為0.1mbar.該芯片還內(nèi)置溫度傳感器。芯片內(nèi)部控制寄存器可以指示測(cè)量結(jié)果是高于還是低于壓力極限預(yù)設(shè)值。

　　壓力傳感器的測(cè)量會(huì)受到氣流和天氣條件的影響。為了取得、可靠的樓層測(cè)量結(jié)果，需要為壓力傳感器開發(fā)校準(zhǔn)和濾波算法。

　          　圖2:       從意法半導(dǎo)體傳感器原始數(shù)據(jù)取得的樓層檢測(cè)結(jié)果

　　圖3:       意法半導(dǎo)體的MEMS壓力傳感器

　　3.  在個(gè)人導(dǎo)航儀中使用MEMS壓力傳感器

　　個(gè)人導(dǎo)航系統(tǒng)（PNS）與個(gè)人航位推測(cè)（PDR）系統(tǒng)相似。從基本原理看，當(dāng)無法獲得GPS衛(wèi)星信號(hào)時(shí)，PNS或PDR可以在智能手機(jī)的電子地圖上繼續(xù)提供方位和前進(jìn)信息，引導(dǎo)用戶到達(dá)興趣點(diǎn)，獲得位置關(guān)聯(lián)服務(wù)（LBS）。

　　在當(dāng)前市面上銷售的智能手機(jī)中，大多數(shù)都內(nèi)置了GPS接收器和低成本的MEMS運(yùn)動(dòng)傳感器，例如，加速度計(jì)、陀螺儀和/或磁力計(jì)。在沒有GPS衛(wèi)星信號(hào)的建筑物內(nèi)或GPS信號(hào)很弱的高樓林立的大都市內(nèi)，個(gè)人導(dǎo)航或航位推測(cè)對(duì)于導(dǎo)航變得非常重要。鑒于GPS接收器在戶內(nèi)戶外測(cè)量高度都不夠，在智能手機(jī)內(nèi)集成壓力傳感器可以輔助GPS測(cè)量高度。

　　前進(jìn)信息可以來自磁力計(jì)或陀螺儀或兩者的模組。PNS是利用慣性導(dǎo)航原理（INS）對(duì)加速度計(jì)的測(cè)量值進(jìn)行雙重積分求解決方位信息，而PDR是計(jì)步器和步長(zhǎng)估算器根據(jù)典型計(jì)步器原理計(jì)算加速度計(jì)提供的測(cè)量數(shù)據(jù)而獲得的方位信息。在一定時(shí)間內(nèi)獲得前進(jìn)方向和行進(jìn)路程的信息后，導(dǎo)航系統(tǒng)在智能手機(jī)的電子地圖上更新行人在戶內(nèi)的方位。

　　3.1      PNS或PDR結(jié)構(gòu)示意圖

　　圖4所示是PNS或PDR的結(jié)構(gòu)示意圖。

　　從傳感器角度看，該系統(tǒng)包括一個(gè)3軸加速度計(jì)、一個(gè)3軸陀螺儀、一個(gè)3軸磁力計(jì)和一個(gè)壓力傳感器。此外，在這個(gè)示意圖內(nèi)還有一個(gè)GPS接收器和一個(gè)主處理器。主處理器用于采集傳感器數(shù)據(jù)，運(yùn)行航位推測(cè)算法和卡爾曼濾波算法。

圖4:       PNS或PDR結(jié)構(gòu)示意圖

　　圖4中每個(gè)組件的優(yōu)缺點(diǎn)歸納如下：

　　GPS接收器：

　　優(yōu)點(diǎn)：GPS可以提供進(jìn)入建筑物前的初始方位；檢索地球偏轉(zhuǎn)角信息，根據(jù)地理前進(jìn)方向修正磁力計(jì)前進(jìn)方向；當(dāng)GPS信號(hào)增強(qiáng)時(shí)校準(zhǔn)計(jì)數(shù)器步長(zhǎng)；分別向慣性導(dǎo)航系統(tǒng)的松耦合和緊耦合卡爾曼濾波算法提供有界的方位信息（經(jīng)緯度）輸出和偽距原始測(cè)量輸出。

　　缺點(diǎn)：當(dāng)行人保持靜止時(shí)，GPS無法確定前進(jìn)方向；無法檢測(cè)高度（海拔高度）的細(xì)微變化。

　　加速度計(jì)：

　　優(yōu)點(diǎn)：在靜態(tài)或慢速運(yùn)動(dòng)狀態(tài)下可用于傾斜度修正型數(shù)字羅盤；在線性加速度狀態(tài)下可用于計(jì)步器的檢測(cè)功能；用于檢測(cè)步行人當(dāng)前的狀態(tài)是靜止還是運(yùn)動(dòng)。

　　缺點(diǎn)：當(dāng)智能手機(jī)旋轉(zhuǎn)時(shí)，無法從地球重力組分中區(qū)別真正的線性加速度；對(duì)震動(dòng)和振蕩過于敏感

　　陀螺儀：

　　優(yōu)點(diǎn)：能夠向慣性導(dǎo)航系統(tǒng)連續(xù)提供旋轉(zhuǎn)矩陣；當(dāng)磁力計(jì)受到干擾時(shí)，輔助數(shù)字羅盤計(jì)算前進(jìn)方向信息

　　缺點(diǎn)：長(zhǎng)時(shí)間的零偏漂移導(dǎo)致無限的INS定位錯(cuò)誤。

　　磁力計(jì)：

　　優(yōu)點(diǎn)：能夠根據(jù)地磁北極計(jì)算的前進(jìn)方向；能夠用于校準(zhǔn)陀螺儀的靈敏度。

　　缺點(diǎn)：容易受到環(huán)境磁場(chǎng)干擾

　　壓力傳感器：

　　優(yōu)點(diǎn)：在室內(nèi)導(dǎo)航應(yīng)用中可區(qū)分樓層；當(dāng)GPS衛(wèi)星信號(hào)較弱時(shí)，可輔助GPS計(jì)算高度，提高定位度；

　　缺點(diǎn)：容易受到氣流和天氣狀況的影響。

　　3.2      PNS或PDR的實(shí)現(xiàn)方式

　　有兩種方法可以在智能手機(jī)上實(shí)現(xiàn)PNS或PDR導(dǎo)航。種方法是利用捷聯(lián)式慣性導(dǎo)航系統(tǒng)（SINS）實(shí)現(xiàn)PNS;第二種方法是利用計(jì)步器方法實(shí)現(xiàn)PDR.這兩種方法都有各自的優(yōu)點(diǎn)和缺點(diǎn)。

　　捷聯(lián)慣導(dǎo)系統(tǒng)是基于一個(gè)3軸加速度計(jì)和一個(gè)3軸陀螺儀的6自由度（DOF）慣性測(cè)量單元。捷聯(lián)慣導(dǎo)系統(tǒng)被成功用于外殼剛性很強(qiáng)的設(shè)備內(nèi)，例如，慣性測(cè)量單元被性安裝在汽車和導(dǎo)彈內(nèi)。該系統(tǒng)在短時(shí)間內(nèi)的定位相對(duì)較高。因?yàn)榈统杀綧EMS運(yùn)動(dòng)傳感器的零偏漂移問題，當(dāng)沒有GPS衛(wèi)星信號(hào)時(shí)，經(jīng)過積分和二重積分運(yùn)算后，定位誤差會(huì)隨時(shí)間推移而變大。此外，行人通常把智能手機(jī)放在衣袋或掛在腰帶上，他們隨時(shí)都會(huì)從衣袋里或腰帶上取出手機(jī)查看當(dāng)前所在方位。這就是說，智能手機(jī)與用戶身體的相對(duì)位置不固定。

　　不過，SINS/GPS集成化PNS系統(tǒng)的優(yōu)點(diǎn)是定位與用戶無關(guān)，這就是說，所有用戶無需給智能手機(jī)建?；蛴?xùn)練智能手機(jī)，以適應(yīng)不同類型的行人的動(dòng)作，例如，步行、跑步和上下樓梯等。

　　計(jì)步器/GPS集成化PDR系統(tǒng)的優(yōu)點(diǎn)是定位主要取決于加速度計(jì)計(jì)步和GPS步長(zhǎng)估算，定位誤差始終是有限的[2].

　　PDR的步是使用加速度計(jì)檢測(cè)腳步[3].這個(gè)過程的基本原理是，智能手機(jī)在行人的腰帶后部無論如何放置，都能自動(dòng)發(fā)現(xiàn)垂直主軸；然后，將加速度測(cè)量數(shù)據(jù)與個(gè)參考閾值對(duì)比，隨后，參考閾值將根據(jù)不同的運(yùn)動(dòng)類型自動(dòng)更新。因此，加速度計(jì)可以準(zhǔn)確計(jì)算行人步行、跑步和上下樓梯時(shí)的步數(shù)。

　　第二步是當(dāng)GPS信號(hào)很強(qiáng)時(shí)校準(zhǔn)步長(zhǎng)。智能手機(jī)計(jì)算行人的平均步長(zhǎng)的方法是，用從GPS開始測(cè)量起經(jīng)過的距離除以上面的計(jì)步器算法得出的步數(shù)。步行人的所有的運(yùn)動(dòng)類型，例如，慢走、快走、慢跑、快跑、上下樓梯等，都需要執(zhí)行步長(zhǎng)校準(zhǔn)步驟。不同的行人有不同的運(yùn)動(dòng)方式。因此，PDR與用戶有關(guān)，所有的步行人都需要一個(gè)自動(dòng)校準(zhǔn)或自我訓(xùn)練的步長(zhǎng)估算算法。

　　第三步是整合加速度計(jì)、陀螺儀、磁力計(jì)和GPS接收器的數(shù)據(jù)求解的前進(jìn)信息。在估算完步長(zhǎng)后，求解航位推測(cè)應(yīng)用的另一個(gè)關(guān)鍵參數(shù)：以地球北極為參考點(diǎn)的前進(jìn)方向。在一個(gè)無磁場(chǎng)干擾的環(huán)境內(nèi)，加速度計(jì)和磁力計(jì)測(cè)量結(jié)果產(chǎn)生的傾斜度修正的數(shù)字羅盤能夠提供以地球北極為參照點(diǎn)的的前進(jìn)方向。

　　在進(jìn)入建筑物前，GPS定位信息能夠根據(jù)位置檢索傾斜角，然后，把羅盤提供的前進(jìn)方向數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)化成地理前進(jìn)方向信息。如果周圍環(huán)境沒有干擾磁場(chǎng)，可以利用磁力計(jì)的測(cè)量數(shù)值提取前進(jìn)方向信息。如果發(fā)現(xiàn)干擾磁場(chǎng)，陀螺儀將接替磁力計(jì)的工作，在上無干擾的羅盤前進(jìn)信號(hào)輸出基礎(chǔ)上提供連續(xù)的前進(jìn)信息輸出。

　　一旦發(fā)現(xiàn)外界磁場(chǎng)干擾消失，陀螺儀將立即停止運(yùn)行，羅盤將接替陀螺儀恢復(fù)運(yùn)轉(zhuǎn)。這個(gè)過程被稱之為陀螺儀輔助數(shù)字羅盤。當(dāng)智能手機(jī)是靜止?fàn)顟B(tài)時(shí)，加速度計(jì)就會(huì)讓陀螺儀定期更新零角速率電平以備將來使用

　　第四步是從壓力傳感器和GPS接收器獲得的高度信息。當(dāng)行人在購物中心乘坐電梯或登樓梯時(shí)，壓力傳感器會(huì)更新數(shù)字地圖，顯示行人當(dāng)前所在樓層。壓力傳感器還能利用卡爾曼濾波器濾除加速度計(jì)的Z軸漂移。

　　第五步是開發(fā)卡爾曼濾波算法，合并10-D傳感器模組數(shù)據(jù)與GPS數(shù)據(jù)。所有的GPS接收器都有1個(gè)PPS （脈沖/秒）輸出信號(hào)，使GPS與傳感器的數(shù)據(jù)傳輸同步，傳感器的采樣速率可以更快，例如50Hz或100Hz.當(dāng)能夠收到GPS衛(wèi)星信號(hào)時(shí)，卡爾曼濾波器將使用GPS輸出數(shù)據(jù)計(jì)算導(dǎo)航信息；相反，當(dāng)GPS衛(wèi)星信號(hào)被屏蔽時(shí)，則使用航位推測(cè)算法輸出的數(shù)據(jù)。當(dāng)GPS信號(hào)恢復(fù)時(shí)，該濾波器還能估算需要修正的傳感器誤差。

　　一步是在智能手機(jī)上測(cè)試PDR的性能。對(duì)于消費(fèi)電子產(chǎn)品，5%的行進(jìn)距離誤差通常是可以接受的。例如，當(dāng)一個(gè)人在室內(nèi)走過100米的距離時(shí)，定位誤差應(yīng)該在5米范圍內(nèi)。

　　4.  結(jié)論

　　MEMS技術(shù)和制程的發(fā)展進(jìn)步產(chǎn)生了低成本、高性能的MEMS加速度計(jì)、陀螺儀和壓力傳感器。隨著尺寸越來越小，功耗越來越低，這些產(chǎn)品開始在智能手機(jī)等手持產(chǎn)品上演繹令人震撼的新功能。

　　在無人駕駛飛行器（UAV）導(dǎo)航系統(tǒng)和室內(nèi)PDR應(yīng)用方面，MEMS壓力傳感器正在引起業(yè)界的強(qiáng)烈關(guān)注。隨著先進(jìn)濾波算法研發(fā)的深入，在室內(nèi)實(shí)現(xiàn)5%的距離誤差是切合實(shí)際的。

　　5. 縮略語

　　DOF –自由度

　　GPS –定位系統(tǒng)

　　IMU –慣性測(cè)量單元

　　INS –慣性導(dǎo)航系統(tǒng)

　　LBS –位置關(guān)聯(lián)服務(wù)

　　MEMS–微機(jī)電系統(tǒng)

　　PDR –個(gè)人航位推測(cè)

　　PNS –個(gè)人導(dǎo)航系統(tǒng)

　　PPS –脈沖/秒

　　SINS–捷聯(lián)慣性導(dǎo)航系統(tǒng)

　　UAV –無人駕駛飛行器

　　LGA –格柵陣列封裝