目前MEMS （M icroelectromechanical System ）技術(shù)已經(jīng)朝著微型化、集成化及智能化的趨勢(shì)發(fā)展。基于MEMS工藝的硅壓阻式壓力傳感器已經(jīng)廣泛應(yīng)用于航空、石油化工、動(dòng)力機(jī)械、生物醫(yī)學(xué)、氣象、地質(zhì)以及地震測(cè)量等領(lǐng)域中， 成為當(dāng)今發(fā)展高新技術(shù)裝備不可缺少的電子產(chǎn)品。而硅壓阻式壓力傳感器的一些參數(shù)隨環(huán)境應(yīng)力的改變而發(fā)生變化， 為了使產(chǎn)品在使用過(guò)程中的可靠性有保障， 盡早發(fā)現(xiàn)硅壓阻式壓力傳感器系統(tǒng)設(shè)計(jì)和制造工藝缺陷是解決上述問(wèn)題的根本。但是，MEMS器件可靠性標(biāo)準(zhǔn)的缺乏和研究人員對(duì)MEMS器件的可靠性研究不足， 限制了它的使用，以及可靠性的提高。因此， 為保證產(chǎn)品在使用過(guò)程中可靠性有保障， 筆者通過(guò)對(duì)硅壓阻式壓力傳感器進(jìn)行可靠性強(qiáng)化實(shí)驗(yàn)， 對(duì)其進(jìn)行定性的分析，提出相關(guān)改進(jìn)措施。

　　1 可靠性強(qiáng)化試驗(yàn)裝置

　　強(qiáng)化試驗(yàn)必須滿足假設(shè)： 受試品在短時(shí)間、高應(yīng)力作用下表現(xiàn)得特性與產(chǎn)品在長(zhǎng)時(shí)間、低應(yīng)力作用下表現(xiàn)出來(lái)的特性是一致的。對(duì)13種不同應(yīng)力的篩選結(jié)果調(diào)查表明， 溫度循環(huán)是有效的篩選， 其次是隨機(jī)振動(dòng)。因此， 將溫度試驗(yàn)平臺(tái)與振動(dòng)試驗(yàn)平臺(tái)做為可靠性強(qiáng)化測(cè)試平臺(tái)（圖1）。

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