光度式自動調(diào)焦系統(tǒng)
出處：仰天一笑 發(fā)布于：2008-12-08 11:15:57
原蘇聯(lián)在顯微密度計上采用了一種光度式自動調(diào)焦系統(tǒng)，其工作原理如圖所示。在光路中，有意識令正確調(diào)焦?fàn)顟B(tài)下光闌J1的兩個像J1和J1分別位于兩個接收光路的前置光闌J2和J3的前方和后方，由于此時兩間距相等（△1＝△2），故從兩個光電接收器輸出等量的電流，它們的差放輸出△I=0。如果物面處于離焦?fàn)顟B(tài)（如圖中的Ⅱ位置），則J1的兩個像將與J2、J3的間距不相等，此時差放輸出△I將不為零。利用這個電流信號作為伺月艮系統(tǒng)的驅(qū)動源就可以實現(xiàn)自動正確調(diào)焦。此種系統(tǒng)在離焦一個焦深值時，光強下降20％。為了提高調(diào)焦靈敏度，要求物鏡的數(shù)值孔徑較大，狹縫小。兩路接收組件及前置放大器的性能參數(shù)是否一致對定位有很大影響。
圖 光度式自動調(diào)焦系統(tǒng)原理圖
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