對于要求較高，而又無法通過巧妙的結(jié)構(gòu)安排使誤差得到補償?shù)膱龊?，可以采取誤差自動校正措施。第3章中介紹的自動調(diào)焦技術(shù)實際上就是誤差自動校正的范例?，F(xiàn)再舉一例，在大規(guī)模集成電路的制版、光刻、掩模檢查以及光盤技術(shù)中，都要求達到0.1 gm量級甚至更高的調(diào)焦。這單靠提高工藝要求和環(huán)境條件是不明智的，而且往往還做不到。實踐證明，一種解決辦法就是對離焦誤差進行自動校正。

　　例1 圖1是應(yīng)用在光盤技術(shù)中的一種自動調(diào)焦方案。它采用了像散法離焦探測原理。激光束經(jīng)過半透半反射鏡P折向物鏡L，聚焦于光盤表面后返回，通過L，、P和L；，本應(yīng)成像于L，的后焦面上，然而由于在光路中插入了一塊柱面鏡，成像光點產(chǎn)生了像散。如圖3所示，在a、b、c三個位置，像點的形狀不同。如果按圖所示a、b、c處放置一個四象限光電接收器件，并按照（1＋3）—（2＋4）的邏輯關(guān)系進行信號處理，不難理解，在a、b、c三個位置的輸出信號是不同的。實際使用時，將光電接受器固定在b點位置，用它對應(yīng)著物面的正確位置，此時輸出信號為零。當光盤表面上產(chǎn)生離焦誤差時，根據(jù)離焦的方向的不同，像點的形狀將向a或c變化，利用光電輸出信號便可實現(xiàn)自動調(diào)焦。

　　在精密光學計量儀器制造中已成功地實現(xiàn)了導軌直線度誤差的自動校正。

　　例2 激光兩坐標測量儀縱向工作臺運動直線度的自動校正系統(tǒng)。如圖2所示，一束激光由移相分光鏡分成兩路，分別射向安裝在浮動工作臺上的兩個立體棱鏡。由立體棱鏡反射回來的光束，重新在移相分光鏡處會合并發(fā)生干涉。由光電接收器檢測干涉條紋信號。

　　當縱向工作臺在前進過程中無角運動時，光電接收器檢測不著干涉條紋的變化，但是只要工作臺略有偏轉(zhuǎn)，干涉儀兩臂光程差便發(fā)生改變，光電接收器便可測出條紋的變化。經(jīng)過光電轉(zhuǎn)換及電信號的處理，可以驅(qū)動壓電陶瓷使工作臺轉(zhuǎn)回原來的方位，這就達到了自動校正的目的。

　　圖1 像散法離焦探測原理

　　圖2  工作臺運動直線度自動校正系統(tǒng)

　　這一校正系統(tǒng)使工作臺移動的直線度，在靜態(tài)時由4 gm減小到20.5 gm。盡管沒有達到零，但已是極大地改善了運動。

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