儀器的誤差來源可以分為原理誤差、制造誤差和運(yùn)行誤差三大類。

　　（1）原理誤差

　　原理誤差由于理論不完善或采取近似理論而產(chǎn)生。它與制造無關(guān)，而是由設(shè)計(jì)決定。儀器采取何種方案，進(jìn)行何種近似處理，便會產(chǎn)生何種原理誤差。例如激光測長系統(tǒng)的小數(shù)有理化，光學(xué)系統(tǒng)的畸變誤差等，都屬原理誤差。又如測角望遠(yuǎn)鏡或自準(zhǔn)直儀（見圖1）是以分劃板上的刻度Z來反映角度a的，即

　　圖1  自準(zhǔn)直儀的原理誤差

　　可見Z與a呈非線性關(guān)系。也就是說，分劃板上的刻線應(yīng)按式（4－1）的關(guān)系成不等間隔。

　　而實(shí)際上為了減少工藝上的困難，分劃板是等間隔刻劃的，即形成如下關(guān)系：

　　這樣就不可避免地要產(chǎn)生原理誤差△Z：

　　表1列出了5°以內(nèi)的Δa值。顯然，若自準(zhǔn)直儀的測角要求達(dá)到±1″，其測角范圍就不可大于±2°。

　　表1  自準(zhǔn)直儀原理誤差數(shù)據(jù)

　?。?）制造誤差

　　由于材料、加工尺寸和相互位置的誤差而產(chǎn)生的儀器誤差，統(tǒng)稱為制造誤差。制造誤差是不可避免的，但并不是所有的零件誤差都造成儀器誤差，起主要作用的是構(gòu)成測量鏈的零部件。所以設(shè)計(jì)時要注意結(jié)構(gòu)的合理性，要注意基面統(tǒng)一以及使測量鏈短等。

　　（3）運(yùn)行誤差

　　運(yùn)行誤差產(chǎn)生于儀器的使用過程中，主要分為以下幾類：

　?、僮冃握`差。由于載荷、接觸變形、自重等原因而產(chǎn)生彈性變形引起的誤差。減小變形誤差的主要辦法有：

　　● 選擇合適的結(jié)構(gòu)以減小變形。例如支承點(diǎn)位置（見圖1），欲使工件在自重影響下，

　　長度變化，則應(yīng)使α≈（2/9）J（貝塞爾點(diǎn)），這適合于刻度尺。若欲使工件兩個

　　端面平行度變化，貝刂應(yīng)使α≈（4/19）J（愛雷點(diǎn)），這適合于長的塊規(guī)；

　　圖1    支承點(diǎn)位置與自重變形的關(guān)系

　　● 在結(jié)構(gòu)安排上，要注意一個零件的變形不要傳遞到相鄰的零件上去，更不要被放大：

　　● 選擇彈性模量大的材料；

　　● 盡量避免材料受彎、扭的作用。因?yàn)樵谕瑯虞d荷作用下，材料受拉和壓力作用時變形??；

　　● 盡量保證測量過程中測力恒定。

　　②磨損引起的誤差。減小磨損的主要辦法有：摩擦副不用同一種材料；降低表面粗糙度數(shù)值；采取跑合、預(yù)磨措施等。

　?、蹨囟茸兓鸬恼`差。溫度變化不僅會引起機(jī)身熱變形，還會引起周圍介質(zhì)的折射率發(fā)生變化，后者對于干涉長度測量儀器會引入誤差。減小溫度誤差的主要手段有：隔離熱源（如將光源移到儀器外邊）；建立熱平衡條件（如將激光器密閉，有時反而比散熱好）；使被測件與標(biāo)準(zhǔn)器的材料線膨脹系數(shù)盡量接近；減小干涉儀的閑區(qū)誤差等。

　　④間隙與空程。間隙靠加工或調(diào)整減小，空程多采取彈性力封閉辦法消除。

　?、菡駝右鸬恼`差。設(shè)計(jì)要采用合適的結(jié)構(gòu)以避免共振；儀器要采取隔離措施等。

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