用百分表（為0.01 mm）對(duì)工作臺(tái)兩個(gè)方向的重復(fù)定位進(jìn)行了測(cè)試。首先將工作臺(tái)某一位置進(jìn)行零點(diǎn)標(biāo)定，并向一個(gè)方向給出一定步數(shù)的脈沖，然后再返回相同的步數(shù)，記錄與零點(diǎn)的偏差，重復(fù)進(jìn)行10次，計(jì)算這一步數(shù)的重復(fù)定位誤差。在X軸方向取1.4 mm（35步），2.8 mm（70步）和4.8 mm（120步），在y軸方向取1.2 mm（30步），2.4 mm（60步）和4.0 mm（100步）。計(jì)算結(jié)果是：在x方向上的標(biāo)準(zhǔn)偏差分別為σ1＝0.018 mm，σ2＝0.025 mm和σ3＝0.032 mm，平均標(biāo)準(zhǔn)偏差σX＝0.025 mm；在y方向上的標(biāo)準(zhǔn)偏差分別為σ1＝0.009 mm，σ2＝0.014 mm和σ3＝0.023mm，平均標(biāo)準(zhǔn)偏差σy=0.015 mm。在X軸方向上的重復(fù)誤差分別為△x1＝0.016 mm，△x2=0.019 mm，△x3＝0.026mm；在y軸方向上的重復(fù)誤差分別為△y1＝0.006 mm，△y2＝0.010 mm，△y3＝0.017 mm。測(cè)試結(jié)果表明，顯微工作臺(tái)在X和y方向上的重復(fù)定位誤差分別為△y1＝0.02 mm，△y＝0.011 mm，滿足了要求。

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