工藝化學品污染
出處：tyw 發(fā)布于：2007-04-29 10:15:49
在制造工廠中，用于刻蝕和清洗晶圓和設(shè)備的酸、堿、溶劑必需是純度的。涉及的污染物有金屬離子微粒和其它化學品。與水不同的是，工藝化學品是采購來的，直接運輸?shù)焦S后使用。工業(yè)化學品分不同級別，他們分一般溶劑、化學試劑、電子級和半導(dǎo)體級。前兩種對于半導(dǎo)體使用來說過臟，電子級與半導(dǎo)體級相對潔凈些，但不同制造商所生產(chǎn)化學品的潔凈度也是不同的。
圖 5.21 典型去離子水系統(tǒng)
Purity Water純水
Particle Prefilter 顆粒前過濾器
Reverse Osmosis Demineralizer反滲透去微粒器
Primary Demineralizer主要去微粒器
N2氮氣
Storage Tank存儲罐
Polishing Demineralizer去微粒器
Ultraviolet Sterilizer紫外線殺菌
Final Filter終過濾器
Process Area工藝區(qū)
Recycle Loop再循環(huán)回路
Acid Neutralization酸中和
Drain排水
象SEMI這樣的商業(yè)組織為整個行業(yè)建立了潔凈度的規(guī)格，但是大多數(shù)半導(dǎo)體廠按照自己內(nèi)部的規(guī)格采購化學品?；瘜W品的主要污染是移動的金屬離子，通常須限制為百分之一（ PPM）級或更低。一些供應(yīng)商可制造MIC級的化學品，含量僅僅十億分之一。微粒過濾器的級別被規(guī)定為0.2微米或更低。
化學品的純度由成份來表示。成份數(shù)就是指容器內(nèi)所含化學品的百分數(shù)。例如，一瓶99.9%的硫酸表示含有99.9%的純硫酸和0.01%的其他溶液。
把化學品傳輸至工藝加工區(qū)域不只包括保持化學品的潔凈，還包括對容器內(nèi)表面的清潔、使用不易溶解的材質(zhì)的容器、不產(chǎn)生微粒的標識牌，并在運輸前把瓶放置化學品袋中。化學品瓶現(xiàn)只用于老式、技術(shù)較低的制造廠中。
許多公司采用大量購入方式買入潔凈工藝化學品，然后倒入小罐中，并通過管道從中央系統(tǒng)傳入工藝工作臺，或者從小瓶直接傳輸?shù)焦に嚬ぷ髋_。大量化學品傳輸系統(tǒng)（BCDS）可以提供更潔凈的化學品且費用較低。另外特別要注意定期清潔管道和運輸瓶來防止污染。另一個特殊問題是當把化學品倒入另一種化學品瓶中時會產(chǎn)生交互污染。每種化學品的化學品瓶應(yīng)專用。---
有幾種技術(shù)可以同時滿足更潔凈的化學品、更嚴格的工藝控制和較低的費用。其中一種是點使用（POU）化學品混合器（BCDS的另一版本）。這種裝置連接在濕洗柜或自動機械上，混合化學品后把他們送到工藝罐中。另一種就是化學品再加工系統(tǒng)，這種裝置設(shè)于濕工藝工作臺的排水系統(tǒng)中。去除離子的化學品被再過濾或者在某些情況下需再加入離子重新使用。重要的“再利用刻蝕器”要接上過濾器以保證為晶圓提供潔凈的化學品源。一種更新的工藝是點使用化學品再生（POUCG）。例如氨水，氫氟酸和過氧化氫這些化學品是由相應(yīng)的氣體與去離子水在工藝工作臺混合而成，這種方法可以減少化學品包裝與運輸時所產(chǎn)生的污染，可制造出萬億(ppt)級的化學品。19
圖 5.21 典型去離子水系統(tǒng)
Purity Water純水
Particle Prefilter 顆粒前過濾器
Reverse Osmosis Demineralizer反滲透去微粒器
Primary Demineralizer主要去微粒器
N2氮氣
Storage Tank存儲罐
Polishing Demineralizer去微粒器
Ultraviolet Sterilizer紫外線殺菌
Final Filter終過濾器
Process Area工藝區(qū)
Recycle Loop再循環(huán)回路
Acid Neutralization酸中和
Drain排水
象SEMI這樣的商業(yè)組織為整個行業(yè)建立了潔凈度的規(guī)格，但是大多數(shù)半導(dǎo)體廠按照自己內(nèi)部的規(guī)格采購化學品?；瘜W品的主要污染是移動的金屬離子，通常須限制為百分之一（ PPM）級或更低。一些供應(yīng)商可制造MIC級的化學品，含量僅僅十億分之一。微粒過濾器的級別被規(guī)定為0.2微米或更低。
化學品的純度由成份來表示。成份數(shù)就是指容器內(nèi)所含化學品的百分數(shù)。例如，一瓶99.9%的硫酸表示含有99.9%的純硫酸和0.01%的其他溶液。
把化學品傳輸至工藝加工區(qū)域不只包括保持化學品的潔凈，還包括對容器內(nèi)表面的清潔、使用不易溶解的材質(zhì)的容器、不產(chǎn)生微粒的標識牌，并在運輸前把瓶放置化學品袋中。化學品瓶現(xiàn)只用于老式、技術(shù)較低的制造廠中。
許多公司采用大量購入方式買入潔凈工藝化學品，然后倒入小罐中，并通過管道從中央系統(tǒng)傳入工藝工作臺，或者從小瓶直接傳輸?shù)焦に嚬ぷ髋_。大量化學品傳輸系統(tǒng)（BCDS）可以提供更潔凈的化學品且費用較低。另外特別要注意定期清潔管道和運輸瓶來防止污染。另一個特殊問題是當把化學品倒入另一種化學品瓶中時會產(chǎn)生交互污染。每種化學品的化學品瓶應(yīng)專用。---
有幾種技術(shù)可以同時滿足更潔凈的化學品、更嚴格的工藝控制和較低的費用。其中一種是點使用（POU）化學品混合器（BCDS的另一版本）。這種裝置連接在濕洗柜或自動機械上，混合化學品后把他們送到工藝罐中。另一種就是化學品再加工系統(tǒng)，這種裝置設(shè)于濕工藝工作臺的排水系統(tǒng)中。去除離子的化學品被再過濾或者在某些情況下需再加入離子重新使用。重要的“再利用刻蝕器”要接上過濾器以保證為晶圓提供潔凈的化學品源。一種更新的工藝是點使用化學品再生（POUCG）。例如氨水，氫氟酸和過氧化氫這些化學品是由相應(yīng)的氣體與去離子水在工藝工作臺混合而成，這種方法可以減少化學品包裝與運輸時所產(chǎn)生的污染，可制造出萬億(ppt)級的化學品。19
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