日前，昆山雙橋傳感器測控技術(shù)有限公司推出了SQPS－A100系列胎壓傳感器芯片。該系列傳感器用力敏芯片系采用硅微機(jī)械加工技術(shù)制造，采用壓阻原理，系壓力敏感芯片，采用各向異性腐蝕技術(shù)和硅硅直接鍵合技術(shù)在硅片內(nèi)部形成一個(gè)長期穩(wěn)定的真空基準(zhǔn)壓力參考腔，在表面硅膜上用集成技術(shù)制作成惠斯頓應(yīng)變檢測全橋，從而在受力時(shí)輸出與壓力成線性關(guān)系的電壓信號。

    該系列產(chǎn)品的具體技術(shù)參數(shù)如下： 
▼ 標(biāo)準(zhǔn)壓力量程        100、200、700、1500、3500  KPa  
▼ 過載能力        300 %FS   
▼ 輸入輸出阻抗        5±2 KΩ   
▼ 零位輸出            0±40  mV  
▼ 滿量程輸出          100±40  mV  
▼ 線性度              ≤±0.5  ±%FS  
▼ 遲滯、重復(fù)性        ≤±0.1 %FS   
▼ 未補(bǔ)償零位溫漂      ≤±8 ×10-4/℃.FS  
▼ 恒流供電靈敏度溫漂  ≤±5 ×10-4/℃.FS 
▼ 恒壓供電靈敏度溫漂  ≤－23 ×10-4/℃.FS  
▼ 工作溫度范圍         －40～125  ℃ 

    由于該系列產(chǎn)品具有：固態(tài)元件，三維集成MEMS工藝制造，可靠性高；無應(yīng)力設(shè)計(jì)與制造，嚴(yán)格自補(bǔ)償濃度控制，穩(wěn)定性好；微型尺寸1mm×1mm×0.5mm，單元成本競爭力強(qiáng)；使用方便，適合于任何陶瓷、PCD板、TO－8、塑膠微電子封裝等特點(diǎn)。因此可廣泛應(yīng)用于車載輪胎壓力監(jiān)測系統(tǒng)（TPMS產(chǎn)品）以及攜帶式胎壓計(jì)、大氣壓力計(jì)；懸掛、剎車、冷媒、進(jìn)氣歧管壓力等汽車壓力傳感器；空氣動(dòng)力學(xué)用微型絕壓傳感器及通用絕壓傳感器；壓力OEM元件制造等方面。